เกรดอุตสาหกรรม/อิเล็กทรอนิกส์ TMAH 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2

Tetramethylammonium hydroxide (TMAH หรือ TMAOH) เป็นเกลือแอมโมเนียมควอเทอร์นารีที่มีสูตรโมเลกุล [(CH3)4N]+[OH]- และเป็นสมาชิกที่ง่ายที่สุดในกลุ่มสารประกอบแอมโมเนียมควอเทอร์นารีอินทรีย์ หนึ่งในการใช้ในอุตสาหกรรมคือการกัดแบบแอนไอโซทรอปิกของซิลิคอน นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวทำละลายพื้นฐานในการพัฒนาสารต้านทานแสงที่เป็นกรดในกระบวนการถ่ายภาพด้วยแสง เนื่องจากเป็นตัวเร่งปฏิกิริยาการถ่ายโอนเฟส จึงมีประสิทธิภาพสูงในการลอกโฟโตรีซิสต์ นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารลดแรงตึงผิวในการสังเคราะห์เฟอร์โรฟลูอิด เพื่อป้องกันการจับตัวเป็นก้อน