ເກຣດອຸດສາຫະກຳ/ອີເລັກໂທຣນິກ TMAH 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
TMAH 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ:
ຊື່ຜະລິດຕະພັນ: TMAH 25% ; Tetramethylammonium Hydroxide
CAS ໝາຍເລກ: 75-59-2
ສູດໂມເລກຸນ: C4H13NO
ຮູບລັກສະນະ: ທາດແຫຼວທີ່ບໍ່ມີສີ
ຕົ້ນສະບັບຂອງມັນເປັນໄປເຊຍກັນທີ່ບໍ່ມີສີ (ປະກອບດ້ວຍສາມ / ຫ້ານ້ໍາໄປເຊຍກັນ), ງ່າຍທີ່ຈະດູດຊຶມຄວາມຊຸ່ມ, ມີກິ່ນແອມໂມເນຍທີ່ແນ່ນອນແລະພື້ນຖານທີ່ເຂັ້ມແຂງ; ການດູດຊຶມຄາບອນໄດອອກໄຊໃນອາກາດ, ປະກອບເປັນຄາບອນ, ເປັນດ່າງອິນຊີ, ມີການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ. ຜະລິດຕະພັນມີສອງປະເພດສະເພາະ: ການແກ້ໄຂນ້ໍາແລະການແກ້ໄຂ methanol.
Tetramethylammonium hydroxide (TMAH ຫຼື TMAOH) ແມ່ນເກືອແອມໂມນຽມ quaternary ທີ່ມີສູດໂມເລກຸນ [(CH3)4N]+[OH]-, ແລະເປັນສະມາຊິກທີ່ງ່າຍດາຍທີ່ສຸດຂອງຊັ້ນຂອງທາດປະສົມອາໂມນຽມ quaternary ອິນຊີ. ຫນຶ່ງໃນການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາຂອງມັນແມ່ນສໍາລັບການ etching anisotropic ຂອງຊິລິໂຄນ. ມັນຍັງຖືກນໍາໃຊ້ເປັນສານລະລາຍພື້ນຖານໃນການພັດທະນາ photoresist ກົດໃນຂະບວນການ photolithography. ເນື່ອງຈາກມັນເປັນຕົວເລັ່ງການຖ່າຍທອດໄລຍະ, ມັນມີປະສິດທິພາບສູງໃນການລອກເອົາ photoresist. ມັນຍັງຖືກນໍາໃຊ້ເປັນ surfactant ໃນການສັງເຄາະຂອງ ferrofluid, ເພື່ອປ້ອງກັນການລວບລວມ.
1) ໃນລັກສະນະການວິເຄາະ, tetramethylammonium Hydroxide ສາມາດນໍາໃຊ້ເປັນ reagent polarographic.
2) ໃນແງ່ຂອງການທໍາຄວາມສະອາດຜະລິດຕະພັນ, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຂີ້ເທົ່າທີ່ບໍ່ມີດ່າງເພື່ອຕົກຕະກອນບາງອົງປະກອບໂລຫະ.
3) ໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ, ໂດຍສະເພາະເປັນຜູ້ພັດທະນາຕົວຕ້ານທານໃນທາງບວກ, silicon wafer etchant ປຽກແລະການແກ້ໄຂທີ່ສະອາດສໍາລັບຂະບວນການ CMP.
4) ໃນການຜະລິດຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານ, ການສະແດງໄປເຊຍກັນຂອງແຫຼວ, ແຜ່ນວົງຈອນພິມ, capacitors, ເຊັນເຊີ, ແລະອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກອື່ນໆຈໍານວນຫຼາຍ.
ຂໍ້ມູນການຂົນສົ່ງ | ບັນຈຸ |
ນ້ຳກອງສະອາດ 200L | |
ຕູ້ຄອນເທນເນີອື່ນໆທີ່ມີຢູ່ຕາມຄໍາຮ້ອງຂໍ. | |
ການຈັດປະເພດການຂົນສົ່ງ | |
ຊື່ການຂົນສົ່ງທີ່ຖືກຕ້ອງ: tetramethylammonium hydroxide | |
ການຈັດປະເພດອັນຕະລາຍ: 8 | |
ໝາຍເລກປະຈໍາຕົວ: UN1835, PGII |
ຄວາມປອດໄພແລະການຈັດການ | ສໍາລັບຄວາມປອດໄພສະເພາະ ແລະຂໍ້ມູນການຈັດການ ກະລຸນາເບິ່ງທີ່ |
ເອກະສານຂໍ້ມູນຄວາມປອດໄພວັດສະດຸທີ່ມີໃຫ້ຕາມການຮ້ອງຂໍ. |
ລາຍການ | ດັດຊະນີ |
ຮູບລັກສະນະ | ທາດແຫຼວທີ່ບໍ່ມີສີ |
ວິເຄາະ | 25.00±0.50% |
Hazen | ≤ 50# |
(CO32-) | ≤ 40ppm |
(ຄ) | ≤ 0.1ppm |
(CH3OH) | ≤ 40ppm |
(ນັ້ນ) | ≤ 5ppb |
(ນັ້ນ) | ≤ 10ppb |
(ມລກ) | ≤ 5ppb |
(ອັນ) | ≤ 10ppb |
(K) | ≤ 10ppb |
(ນັ້ນ) | ≤ 10ppb |
(Cr) | ≤ 5ppb |
(ນາທີ) | ≤ 5ppb |
(Fe) | ≤ 5ppb |
(ຮ່ວມ) | ≤ 5ppb |
(ໃນ) | ≤ 5ppb |
(ດ້ວຍ) | ≤ 5ppb |
(Zn) | ≤ 5ppb |
(ສຳລັບ) | ≤ 5ppb |
(ຢູ່) | ≤ 5ppb |
(ຊີດີ) | ≤ 5ppb |
(ປ.) | ≤ 5ppb |
ອະນຸພາກ (≥0.5μm) | ≤100ea/ml |
200kg ຫຼື 25kg/drum
a, ເກັບຮັກສາໄວ້ໃນບ່ອນເຢັນ, ແຫ້ງ ແລະລະບາຍອາກາດ
b, ຫ່າງຈາກໄຟແລະຄວາມຮ້ອນ
c, ຈັດການດ້ວຍຄວາມລະມັດລະວັງແລະບໍ່ແຕກ