산업용/전자 등급 TMAH 25% 테트라메틸암모늄 수산화물 CAS 75-59-2

간단한 설명:

화학명: 테트라메틸암모늄하이드록사이드(TMAH)

유형: 25% TMAH(용액); 99% TMAH(분말)

CAS 75-59-2

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제품 상세 정보

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제품 설명

TMAH 25% 테트라메틸암모늄 수산화물 CAS 75-59-2

제품 세부 정보:

제품명: TMAH 25%; 테트라메틸암모늄하이드록사이드

CAS 번호: 75-59-2

분자식: C4H13NO

외관: 무색 액체

원래는 무색 결정체(3/5개의 결정수 함유)로 수분을 쉽게 흡수하며 특정 암모니아 냄새가 나고 염기성이 강합니다. 공기 중의 이산화탄소를 흡수하여 탄산염, 유기 알칼리를 형성하고 부식성이 강합니다. 제품에는 수용액과 메탄올 용액의 두 가지 사양이 있습니다.

특징

테트라메틸암모늄 수산화물(TMAH 또는 TMAOH)은 분자식 [(CH3)4N]+[OH]-를 갖는 4차 암모늄염이며 유기 4차 암모늄 화합물 종류 중 가장 간단한 구성원입니다. 산업적 용도 중 하나는 실리콘의 이방성 에칭입니다. 또한 포토리소그래피 공정에서 산성 포토레지스트를 개발할 때 기본 용매로도 사용됩니다. 상전이촉매이므로 포토레지스트 박리에 매우 효과적입니다. 또한 응집을 방지하기 위해 자성유체 합성 시 계면활성제로도 사용됩니다.

애플리케이션

1) 분석측면에서는 폴라로그래픽 시약으로 테트라메틸암모늄하이드록사이드를 사용할 수 있다.

2) 제품 정화 측면에서 일부 금속 원소를 침전시키는 무회 알칼리로 사용되었습니다.

3) 전자 산업에서 특히 포지티브 저항 현상제, 실리콘 웨이퍼 습식 식각액 및 CMP 공정용 초청정 솔루션으로 사용됩니다.

4) 집적 회로, 액정 디스플레이, 인쇄 회로 기판, 커패시터, 센서 및 기타 여러 전자 부품 제조에 사용됩니다.

배송 정보

배송 정보	컨테이너
	200L 클린 드럼
	요청 시 다른 용기도 이용 가능합니다.
	배송 분류
	적정 선적명 : 테트라메틸암모늄하이드록사이드
	위험 분류: 8
	식별번호: UN1835, PGII

안전 및 취급	구체적인 안전 및 취급 정보는 다음을 참조하십시오.
	요청 시 제공되는 물질안전보건자료.

사양

안건	색인
모습	무색 액체
시험	25.00±0.50%
헤이젠	≤ 50#
(CO32-)	40ppm 이하
(Cl)	≤ 0.1ppm
(CH3OH)	40ppm 이하
(저것)	≤ 5ppb
(저것)	10ppb 이하
(마그네슘)	≤ 5ppb
(알)	10ppb 이하
(케이)	10ppb 이하
(저것)	10ppb 이하
(크)	≤ 5ppb
(Mn)	≤ 5ppb
(페)	≤ 5ppb
(공동)	≤ 5ppb
(안에)	≤ 5ppb
(와 함께)	≤ 5ppb
(Zn)	≤ 5ppb
(을 위한)	≤ 5ppb
(에)	≤ 5ppb
(CD)	≤ 5ppb
(납)	≤ 5ppb
입자(≥0.5μm)	100ea/ml 이하