ថ្នាក់ឧស្សាហកម្ម/អេឡិចត្រូនិក TMAH 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
TMAH 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
ពត៌មានលម្អិតនៃផលិតផល:
ឈ្មោះផលិតផល៖ TMAH 25% ; Tetramethylammonium Hydroxide
CAS លេខ៖ 75-59-2
រូបមន្តម៉ូលេគុល: C4H13NO
រូបរាង៖ រាវគ្មានពណ៌
ដើមរបស់វាជាគ្រីស្តាល់គ្មានពណ៌ (មានទឹកគ្រីស្តាល់បី/ប្រាំ) ងាយស្រួលស្រូបយកសំណើម ជាមួយនឹងក្លិនអាម៉ូញាក់ជាក់លាក់ និងមូលដ្ឋានរឹងមាំ។ ស្រូបយកកាបូនឌីអុកស៊ីតក្នុងខ្យល់ បង្កើតជាកាបូន អាល់កាឡាំងសរីរាង្គ ជាមួយនឹងការច្រេះខ្លាំង។ ផលិតផលមានពីរប្រភេទគឺដំណោះស្រាយទឹក និងដំណោះស្រាយមេតាណុល។
Tetramethylammonium hydroxide (TMAH ឬ TMAOH) គឺជាអំបិលអាម៉ូញ៉ូម quaternary ជាមួយនឹងរូបមន្តម៉ូលេគុល [(CH3)4N]+[OH]- ហើយជាសមាជិកសាមញ្ញបំផុតនៃថ្នាក់នៃសមាសធាតុអាម៉ូញ៉ូម quaternary សរីរាង្គ។ មួយនៃការប្រើប្រាស់ឧស្សាហកម្មរបស់វាគឺសម្រាប់ការ etching anisotropic នៃ silicon ។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាសារធាតុរំលាយជាមូលដ្ឋានក្នុងការអភិវឌ្ឍនៃ photoresist អាស៊ីតនៅក្នុងដំណើរការ photolithography ។ ដោយសារវាជាកាតាលីករផ្ទេរដំណាក់កាល វាមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ក្នុងការដក photoresist ។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជា surfactant ក្នុងការសំយោគ ferrofluid ដើម្បីការពារការប្រមូលផ្តុំ។
1) នៅក្នុងទិដ្ឋភាពនៃការវិភាគ tetramethylammonium Hydroxide អាចត្រូវបានប្រើជាសារធាតុប៉ូឡូរ៉ាក់។
2) ទាក់ទងនឹងការបន្សុតផលិតផល វាត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាសារធាតុអាល់កាឡាំងគ្មានផេះ ដើម្បីបន្សុតធាតុលោហធាតុមួយចំនួន។
3) នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក ជាពិសេសជាអ្នកបង្កើតការទប់ទល់វិជ្ជមាន ស៊ីលីកុន wafer wet etchant និងដំណោះស្រាយស្អាតទំនើបសម្រាប់ដំណើរការ CMP ។
4) នៅក្នុងការផលិតនៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា, ការបង្ហាញគ្រីស្តាល់រាវ, បន្ទះសៀគ្វីបោះពុម្ព, capacitors, ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា, និងសមាសភាគអេឡិចត្រូនិជាច្រើនទៀត។
ព័ត៌មានដឹកជញ្ជូន | ធុង |
ស្គរ 200L ស្អាត | |
ធុងផ្សេងទៀតអាចរកបានតាមការស្នើសុំ។ | |
ចំណាត់ថ្នាក់នៃការដឹកជញ្ជូន | |
ឈ្មោះដឹកជញ្ជូនត្រឹមត្រូវ៖ tetramethylammonium hydroxide | |
ចំណាត់ថ្នាក់គ្រោះថ្នាក់៖ ៨ | |
លេខអត្តសញ្ញាណ៖ UN1835, PGII |
សុវត្ថិភាព និងការគ្រប់គ្រង | សម្រាប់ព័ត៌មានសុវត្ថិភាព និងការគ្រប់គ្រងជាក់លាក់ សូមយោងទៅផ្នែក |
សន្លឹកទិន្នន័យសុវត្ថិភាពសម្ភារៈដែលអាចរកបានតាមការស្នើសុំ។ |
ធាតុ | សន្ទស្សន៍ |
រូបរាង | រាវគ្មានពណ៌ |
ការវិភាគ | 25.00±0.50% |
ហាហ្សេន | ≤ 50# |
(CO32-) | ≤ 40ppm |
(Cl) | ≤ 0.1ppm |
(CH3OH) | ≤ 40ppm |
(នោះ) | ≤ 5ppb |
(នោះ) | ≤ 10ppb |
(Mg) | ≤ 5ppb |
(អាល់) | ≤ 10ppb |
(K) | ≤ 10ppb |
(នោះ) | ≤ 10ppb |
(Cr) | ≤ 5ppb |
(Mn) | ≤ 5ppb |
(Fe) | ≤ 5ppb |
(សហ) | ≤ 5ppb |
(ក្នុង) | ≤ 5ppb |
(ជាមួយ) | ≤ 5ppb |
(Zn) | ≤ 5ppb |
(សម្រាប់) | ≤ 5ppb |
(នៅ) | ≤ 5ppb |
(ស៊ីឌី) | ≤ 5ppb |
(ប) | ≤ 5ppb |
ភាគល្អិត (≥0.5μm) | ≤100ea/ml |
200 គីឡូក្រាម ឬ 25 គីឡូក្រាម / ស្គរ
a, ទុកក្នុងកន្លែងត្រជាក់ ស្ងួត និងខ្យល់ចេញចូល
ខ, ឆ្ងាយពីភ្លើងនិងកំដៅ
c, ដោះស្រាយដោយប្រុងប្រយ័ត្ន និងគ្មានការបែកបាក់