工業用/電子グレード TMAH 25% 水酸化テトラメチルアンモニウム cas 75-59-2
TMAH 25% 水酸化テトラメチルアンモニウム cas 75-59-2
製品詳細：
製品名: TMAH 25% ; 水酸化テトラメチルアンモニウム
CAS番号: 75-59-2
分子式: C4H13NO
外観：無色の液体
元々は無色の結晶（3/5の結晶水を含む）で、湿気を吸収しやすく、特定のアンモニア臭と強い塩基性を持っています。 空気中の二酸化炭素を吸収し、強い腐食性を持つ炭酸塩、有機アルカリを形成します。 本製品には水溶液とメタノール溶液の2種類の仕様があります。
水酸化テトラメチルアンモニウム (TMAH または TMAOH) は、分子式 [(CH3)4N]+[OH]- を持つ第 4 級アンモニウム塩であり、有機第 4 級アンモニウム化合物のクラスの中で最も単純なメンバーです。 その工業用途の 1 つは、シリコンの異方性エッチングです。 また、フォトリソグラフィープロセスにおける酸性フォトレジストの現像における塩基性溶媒としても使用されます。 相間移動触媒であるため、フォトレジストの剥離に非常に効果的です。 また、磁性流体の合成において凝集を防ぐための界面活性剤としても使用されます。
1) 分析の面では、ポーラログラフ試薬として水酸化テトラメチルアンモニウムを使用できます。
2) 製品の精製の観点から、金属元素を沈殿させるための無灰アルカリとして使用されました。
3) 電子産業、特にポジ型抵抗現像剤、シリコンウェーハのウェットエッチャント、CMP プロセス用の超清浄溶液として。
4) 集積回路、液晶ディスプレイ、プリント基板、コンデンサ、センサー、その他多くの電子部品の製造。
| 出荷情報 | コンテナ |
| 200Lクリーンドラム | |
| ご要望に応じて他のコンテナもご利用いただけます。 | |
| 配送区分 | |
| 正式出荷名：テトラメチルアンモニウムヒドロキシド | |
| 危険性分類: 8 | |
| 識別番号：UN1835、PGII |
| 安全性と取り扱い | 具体的な安全性と取り扱いに関する情報については、以下を参照してください。 |
| 製品安全データシートは、ご要望に応じて入手可能です。 |
| アイテム | 索引 |
| 外観 | 無色の液体 |
| アッセイ | 25.00±0.50% |
| ハーゼン | ≤ 50# |
| (CO32-) | ≤ 40ppm |
| (Cl) | ≤ 0.1ppm |
| (CH3OH) | ≤ 40ppm |
| （それ） | ≤ 5ppb |
| （それ） | ≤ 10ppb |
| (マグネシウム) | ≤ 5ppb |
| (アル) | ≤ 10ppb |
| (K) | ≤ 10ppb |
| （それ） | ≤ 10ppb |
| (Cr) | ≤ 5ppb |
| (Mn) | ≤ 5ppb |
| (フェ) | ≤ 5ppb |
| (共) | ≤ 5ppb |
| （で） | ≤ 5ppb |
| （と） | ≤ 5ppb |
| (亜鉛) | ≤ 5ppb |
| （のために） | ≤ 5ppb |
| （で） | ≤ 5ppb |
| （CD） | ≤ 5ppb |
| (鉛) | ≤ 5ppb |
| 粒子（≧0.5μm） | ≤100ea/ml |
200kgまたは25kg/ドラム
a、涼しく乾燥した換気の良い場所に保管してください
b、火気や熱から遠ざけること
c、取り扱いには注意し、破損しないようにしてください。
